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DGS03自动配气系统

产品详情

自动配气系统主要用于对气体的质量流量进行精密控制,配置出满足需要的不同组份浓度的各种标准气体。标准气体配气的方法包括称重法、分压法、静态容量法、流量比混合法、渗透法、扩散法、体积比法等。该自动配气系统采用流量比混合法,是一种动态配气法,通过严格控制一定比例的组份气体,并加以混合而制定标准气体。与瓶装标准气相比,使用该方法能够在同一配气系统上,可以配置出满足需要的不同组份浓度的各种标准气,配制的目标组分标准气体浓度可达10-9级且连续可调;可稀释范围宽,可以达到1/2000;系统不受环境温度与压力变化影  , 可以适用于配制高、低浓度的多种目标组分标准气体,甚至包括爆炸性气体  毒性气体,具有很好的应用价值;采用气体质量流量计控制每一路所需的原料气体的流量,可以控制配制目标组分标准气体的总流量,实现连续配制并供给目标组分标准气体,使用方便、灵敏度高、精度高。

传感器特点

使用方便
灵敏度高
精度高

主要应用

适用于配制高、低浓度的多种目标组分标准气体,甚至包括爆炸性气体  毒性气体,具有很好的应用价值

技术指标

流量规格(N2) (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30)SLM
 
 
准确度
±1.0% S.P .   (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.   (<35% F.S.)
线性 ±0.5% F.S.
重复精度 ±0.2% F.S.
工作压差范围 0.05~0.35Mpa    流量规格≤10SLM
0.1~0.35Mpa     流量规格>10SLM
温度系数 零点:≤±0.05FS/℃;  调节时:≤±0.1FS/℃
耐压 3MPa
≤2sec
漏率 1×10-10pa.m3/sec He
密封材料 氟橡胶;   金属密封
工作环境温度 (5~45) ℃

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