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MEMS科技引领智慧生活

时间:2020-09-04 10:49来源:炜盛传感 作者:郑州炜盛科技 点击:

MEMS—微型电子机械系统是利用传统的半导体工艺和材料,集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统,具有体积小、成本低、集成度高等特点。

随着环境需求的日益迫切,“三大基石”之一的气体传感器有望成为物联网垂直领域中率先落地的亮点应用。同时,采用MEMS技术解决方案的气体传感器很可能是下一个集成在智能手机或可穿戴设备的最佳选择。

  概要    MEMS原理及分类

利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当传感器所处存在气体环境中时,传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。该气体的浓度越高,传感器的电导率就越高。

本系列品采用MEMS工艺,结构坚固,抗震性好;具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长。

图|GM系列MEMS传感器

 

  优势    智能感知,大势所趋

智能化:作为电子产品的“感知中枢”,通过加入微控制单元和相应信号处理算法,还可以承担自动调零、校准和标定等功能,实现终端设备的智能化。

高度集成化和组合化:由于设计空间、成本和功耗预算日益紧缩,在同一衬底上集成多种敏感元器件、制成能够检测多个参量的多功能组合MEMS传感器成为重要解决方案。

低功耗化:随着物联网等应用对传感需求的快速增长,传感器使用数量急剧增加,能耗也将随之翻倍。降低MEMS功耗,增强续航能力的需求将会伴随传感器发展的始终,且日趋强烈。

  应用   应用:百花齐放,精彩纷呈

作为获取信息的关键入口,MEMS气体传感器已在安全防护、空气质量、工业安全、健康监测等领域中得到了广泛的应用。

安全防护方面

厨房燃气泄露

矿业领域

有毒气体检测

空气质量方面

空气净化器

暖通空调

新风系统

工业安全方面

油田钻井

冷藏

化工行业

健康监测方面

酒精检测仪

迷你检测仪

健康监测仪

 

此外,MEMS技术在消费类电子、能源、汽车、国防及生物医疗等领域也有广泛应用,为各行各业提供自动化、智能化的数据接口,为万物赋灵。

 

本文标签: MEMS传感器
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